【摘 要】
：
如果碳氢化合物的氢原子部分或全部被卤素(氟、氯、溴、碘)取代,就称之为卤代烃。现在,这类碳氢化合物在半导体元件等离子蚀刻工艺中得到了广泛的应用。但是,在等离子工艺产
论文部分内容阅读
如果碳氢化合物的氢原子部分或全部被卤素(氟、氯、溴、碘)取代,就称之为卤代烃。现在,这类碳氢化合物在半导体元件等离子蚀刻工艺中得到了广泛的应用。但是,在等离子工艺产生之前,化学工业已给这类化合物规定了标识号码,如氟里昂—14中的“14”。这类标识号码是其化学名称的简写符号,但在微电子学领域里,了解这一点的人寥寥无几。
Hydrocarbons are called halocarbons if their hydrogen atoms are partially or completely replaced by halogens (fluorine, chlorine, bromine, iodine). Now, these hydrocarbons have been widely used in plasma etching of semiconductor devices. However, prior to the plasma process, the chemical industry has specified an identification number for such compounds, such as “14” in Freon-14. These identification numbers are shorthand for their chemical name, but very little is known in the field of microelectronics.
其他文献
饶瑞中,《红外与激光工程》编委会委员,博士,研究员,博士生导师,现任中国科学院安徽光学精密机械研究所副所长。安徽省光学学会大气与环境光学专业委员会主任委员,安徽省气象
风拂过水面会留下层层涟漪,曾以为那份流动的美感只属于柔软的流体,但在美国亚利桑那州,水和坚硬的岩石交融在一起,织就了极富动态美的地下深谷——羚羊峡谷。岩石经过阳光的
[目的]探讨慢性肺源性心脏病并冠心病的临床表现和防治措施。[方法]回顾分析32例确诊的慢性肺心病并冠心病患者的临床资料。急性发作期在综合治疗基础上加用大环内酯类抗生素
烟台,位于胶东半岛中部、濒临黄渤海,是一座历史文化底蕴深厚、经济社会繁荣祥和的文明城市。这里,依山傍海、风光旖旎、气候宜人,是中国之一、北方唯一的“最佳避暑旅游城市
西宁组,为一套内陆湖泊相的含盐红色碎屑沉积,广布于西宁一民和之间,总厚度在1000米左右。对其时代,有的作为上新世在西北地区的代表,有的归为中新世,但总因缺乏可靠的古生
反射地震勘探只能弄清地下构造的形态,构造中存在的流体是天然气,油还是水,应该有一个判别原则。但这种判别已经超过过去地震勘探的精度,不可能加以考虑。几年前,曾经介绍了
(一) 引言在毛主席关于“开发矿业”的指示指引下,随着地质科学研究工作的深入发展,单矿物分离任务也越来越大。近年来,我所供测同位素年龄所需的黑云母等单矿物分离任务较
硝基化合物由于大量生产和广泛应用.已对环境造成了相当严重的污染。此类化合物对人体不仅具有毒性作用,而且具有较强的致癌性,故已引起国内外学者广泛关注。人们曾对各种样
井中地震反射观测改进了详细研究复杂地质构造的效果,实现井中观测可提供三维解释。在低速带下进行观测提高了分辨力和信噪比。关于波形偏振的多分量记录,可以实现最佳时一空
众所周知,在多次迭加法已经成为磁带地震勘探的一种基本野外工作方法的今天,组合检波法不是相对降低了价值,而是显得更加重要和必要。因此对于组合检波形式的选择和效果的分