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研制了一种新型的中频交流脉冲等离子体电源。该电源采用全桥逆变拓扑电路、PWM控制方式、输出功率叠加的方案，具有过流检测与保护功能。在等离子体负载下进行了抑制弧光放电和空心阴极效应的实验，结果表明：交流脉冲放电对弧光放电和空心阴极效应的抑制是非常有效的。它为解决材料表面处理中的难点（小孔、深孔、狭缝的处理）提供了一种新的方案；也为探索磁控溅射新工艺（交流孪生溅射技术）提供了研究设备。