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二十一世纪微电子光刻技术与设备的发展对策研究
二十一世纪微电子光刻技术与设备的发展对策研究
来源 :世界科技研究与发展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wskfdftg
【摘 要】
:
微电子、集成电路的水平是国家地位和综合国力的重要标志。集成电路集成度的增长离不开生产和制作集成电路的光刻设备。本文重点介绍集成电路的制造技术的制作设备的最新发展
【作 者】
:
温尚明
袁大发
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所
【出 处】
:
世界科技研究与发展
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
微电子
光刻技术
集成电路
光刻设备
microelectronics
photo-lithography development trace
NGL
d
【基金项目】
:
中国科学院情报基金课题研究成果
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微电子、集成电路的水平是国家地位和综合国力的重要标志。集成电路集成度的增长离不开生产和制作集成电路的光刻设备。本文重点介绍集成电路的制造技术的制作设备的最新发展状况,提出发展我国微电子光刻技术的建议。
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