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微电子、集成电路的水平是国家地位和综合国力的重要标志。集成电路集成度的增长离不开生产和制作集成电路的光刻设备。本文重点介绍集成电路的制造技术的制作设备的最新发展状况，提出发展我国微电子光刻技术的建议。
二十一世纪微电子光刻技术与设备的发展对策研究
【摘 要】
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微电子、集成电路的水平是国家地位和综合国力的重要标志。集成电路集成度的增长离不开生产和制作集成电路的光刻设备。本文重点介绍集成电路的制造技术的制作设备的最新发展
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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世界科技研究与发展
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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中国科学院情报基金课题研究成果
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