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在几种不同的衬底上制作ＳｎＯ＿２电热膜，研究了它的电阻温度特性、老化特性和失效机理。指出膜层缺陷浓度的变化、内应力的均匀化以及膜层与衬底间可动离子的扩散，是产生ＳｎＯ＿２电热膜老化的主要原因。提出了改善电热膜老化的措施。电热膜的失效属于早期失效，设计电热膜时，合理分配膜承受的功率密度，制作过程中保证膜的均匀性，选择适当的衬底材质和几何形状，可避免这种早期失效。