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Preparation of H-terminated and aminated diamond like carbon surfaces

来源 :稀有金属：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cxdong54321

【摘 要】

：

H-terminated DLC layers were synthesized on SiO2 substrate by radio frequency (RF) magnetron plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) in a conventional

【作 者】

：

Wang  Mei  Wang  Weichen  Huan 

【机 构】

：

KeyLaboratoryofLiquidStructureandHeredityofMaterials

【出 处】

：

稀有金属：英文版

【发表日期】

：

2012年2期

【基金项目】

：

supported by the National Natural Science Foundation of China (No.51002090),,the Outstanding Young Scientist Research Award Fund of Shandong Province (No.BS2010CL028)

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H-terminated DLC layers were synthesized on SiO2 substrate by radio frequency (RF) magnetron plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) in a conventional reactor using C4H10 as carbon source. As-deposited DLC films were characterized by Raman spect

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