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硅微机械力敏器件在封装时往往采用硅－玻璃静电键合的方法。但在静电键合时静电力也往往作用于不需要键合的结构部分。并可能引起这些结构的畸变。造成器件特性劣化或破坏。本文分析了静电力的这些影响，并结合实践提出了一些解闷方法。
静电键合力引起硅微结构畸变的研究
【摘 要】
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硅微机械力敏器件在封装时往往采用硅－玻璃静电键合的方法。但在静电键合时静电力也往往作用于不需要键合的结构部分。并可能引起这些结构的畸变。造成器件特性劣化或破坏。本
【机 构】
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复旦大学电子工程系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1997年1期
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