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抛光参量对抛光光学元件亚表层的影响
抛光参量对抛光光学元件亚表层的影响
来源 :航空精密制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zfk710867322
【摘 要】
:
研究了抛光粉的种类、抛光速度的大小以及抛光玻璃的性质等抛光参量对光学元件亚表层特征的影响,并结合抛光机理进行了分析。
【作 者】
:
王桃芬
张循利
时宝国
【机 构】
:
湖南科技大学物理学院,滨州学院物理系,滨州学院物理系 湘潭411201,滨州256600,滨州256600
【出 处】
:
航空精密制造技术
【发表日期】
:
2008年01期
【关键词】
:
抛光
亚表层缺陷
抛光粉
熔石英
抛光速度
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研究了抛光粉的种类、抛光速度的大小以及抛光玻璃的性质等抛光参量对光学元件亚表层特征的影响,并结合抛光机理进行了分析。
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