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介绍了各种类型的微机械硅加速度计的工作原理及特性,通过比较各类型硅加速度计的优劣,提出了高灵敏度硅加速度计的设计思路及实现方法。
微机械硅加速度计的性能分析
【摘 要】
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介绍了各种类型的微机械硅加速度计的工作原理及特性,通过比较各类型硅加速度计的优劣,提出了高灵敏度硅加速度计的设计思路及实现方法。
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2003年02期
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