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基体加工方法和设备
基体加工方法和设备
来源 :电镀与环保 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shmilyfanwen
【摘 要】
:
基体加工方法包括:(1)在铜接线上化学镀Co—WB形成W薄膜;(2)在副产物沉积在化学镀Co—W—B薄膜上之前,使用清洗液清洗基体或薄膜。
【出 处】
:
电镀与环保
【发表日期】
:
2012年2期
【关键词】
:
加工方法
基体
设备
W薄膜
化学镀
清洗液
副产物
CO
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基体加工方法包括:(1)在铜接线上化学镀Co—WB形成W薄膜;(2)在副产物沉积在化学镀Co—W—B薄膜上之前,使用清洗液清洗基体或薄膜。
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