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赛斯纯气体有限公司为福顺半导体制造厂提供钯膜氢气净化器
赛斯纯气体有限公司为福顺半导体制造厂提供钯膜氢气净化器
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wilsai
【摘 要】
:
赛斯纯气体有限公司作为半导体和发光二极管芯片制造厂的气体净化设备制造商,已经向福建久策气体集团有限公司供应了一台MegaTorr钯膜氢气净化器。该设备将用于福建福顺半导体
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2014年7期
【关键词】
:
芯片制造厂
氢气净化器
半导体
纯气体
钯膜
设备制造商
发光二极管
气体净化
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赛斯纯气体有限公司作为半导体和发光二极管芯片制造厂的气体净化设备制造商,已经向福建久策气体集团有限公司供应了一台MegaTorr钯膜氢气净化器。该设备将用于福建福顺半导体制造厂超高纯氢气的供应。
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