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本文系统地研究了应变EuTiO3-δ (ETO)薄膜的沉积过程、晶体结构和磁性质,该薄膜是通过脉冲激光沉积制备。由于高真空的沉积条件,沉积过程中产生了+2.48%的生长应变。此外通过XRD测试确定了ETO薄膜的外延关系为(002)ETO//(002)STO和[200]ETO//[200]STO。在此张应变的作用下,ETO薄膜在3.6 K附近出现了铁磁转变。并在低于该温度区间,发现了自旋玻璃态的现象。最终确定了低于TC温度条件下磁性主导机理仍是铁磁交换。