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为了保留光纤点衍射干涉仪容易对准以及衍射光束易于控制的优点，同时又能实现大数值孔径（ NA）光学系统的检测，设计了一种新型的波面参考源（WRS），它保留了光纤点衍射和微孔点衍射的优点，可满足大NA极紫外光刻物镜系统波像差检测的要求。本文在分析各种误差的基础上，搭建了WRS原理光路并对WRS的系统误差标定算法进行详细的研究，得到WRS标定时旋转平台的角度公差为0.5°，跳径时偏离系数为0.5％。这一新型WRS误差分析及标定对于实现高精度的检测具有十分重要的意义，最终为实现WRS系统误差标定提供理论