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采用水热法，在ZnO种子层上制备出不同Al掺杂量的ZnO纳米棒阵列薄膜，利用XRD、SEM、TEM、PL等检测手段对样品进行结构、形貌和发光性能分析。结果表明，纳米棒属于六方纤锌矿结构，具有垂直基底沿[002]方向生长的特征，PL谱上存在强的近紫外辐射峰。随着掺杂量的增加，纳米棒直径略有减小，近紫外辐射峰蓝移，强度先增加后减小，证明掺杂会形成非辐射中心，探讨了Al掺杂ZnO纳米棒阵列的发光机理。