【摘 要】
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静电故障静电故障是由静电引起的故障,通常可分作两类: 1.引起逻辑元件、存储元件等半导体器件损坏的故障, 2.引起机器误动作的故障。由于雷电等原因,偶尔也有1、2类两类故障
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静电故障静电故障是由静电引起的故障,通常可分作两类: 1.引起逻辑元件、存储元件等半导体器件损坏的故障, 2.引起机器误动作的故障。由于雷电等原因,偶尔也有1、2类两类故障同时发生的情况。一般说,第1类故障与在装配机器过程中对半导体器件的处理条件有密切关系。近来,应用高集成度半导体器件的倾向益发高长,因而既使伴有很小的静电,也会导致器件的损坏。所以在半导体器件的处理和保管上都必须十分留心。
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