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阐述等离子喷淋技术的工作原理,在离子注入工艺上的应用;分析等离子喷淋器对注入工艺中的电荷累积以及注入均匀性改善。并提出在先进制程下对等离子喷淋技术的要求。
离子注入工艺中等离子喷淋技术
【摘 要】
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阐述等离子喷淋技术的工作原理,在离子注入工艺上的应用;分析等离子喷淋器对注入工艺中的电荷累积以及注入均匀性改善。并提出在先进制程下对等离子喷淋技术的要求。
【机 构】
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上海华力微电子有限公司
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2015年21期
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