【摘 要】
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介绍了利用干涉仪检测调整非球面物镜光路的方法。调整分粗调和精调两个阶段。在粗调阶段,以激光的光轴作为检测光路的基准光轴,建立起共轴光路检测系统;在精调阶段,以WYGO干
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介绍了利用干涉仪检测调整非球面物镜光路的方法。调整分粗调和精调两个阶段。在粗调阶段,以激光的光轴作为检测光路的基准光轴,建立起共轴光路检测系统;在精调阶段,以WYGO干涉仪内部倾斜系数作为调整依据,进行物镜的精调。用干涉仪测得的物镜的面形质量为:波前PV值优于λ/8,RMS值达到λ/100(λ=0.6328μm),检测结果满足波前检测镜头的要求。这表明此种光路调整方法能够反映物镜真实的面形精度,并且能用于高精度的物镜检测。
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