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阐述了类金刚石膜的热稳定性影响因素，主要包括薄膜成分和厚度及退火环境和加热方式，薄膜的机械性能、电学性能和光学性能在退火处理过程中，会随薄膜鲒构的变化而发生相应的变化。
类金刚石膜（DLC）的热稳定性
【摘 要】
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阐述了类金刚石膜的热稳定性影响因素，主要包括薄膜成分和厚度及退火环境和加热方式，薄膜的机械性能、电学性能和光学性能在退火处理过程中，会随薄膜鲒构的变化而发生相应的变化
【机 构】
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华南理工大学机械工程学院
【出 处】
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装备制造技术
【发表日期】
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2008年8期
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