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全固态通用型压力传感器、变送器
全固态通用型压力传感器、变送器
来源 :电子仪器仪表用户 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guidahuasheng
【摘 要】
:
全固态通用型压力传感器、变送器沈阳仪器仪表工艺研究所庞世信,刘沁,吕忠刚扩散硅压力传感器与应变式等其它类型压力传感器相比具有很多优点,多年来一直是人们关注的重点。国外
【作 者】
:
庞世信
刘沁
吕忠刚
【机 构】
:
沈阳仪器仪表工艺研究所
【出 处】
:
电子仪器仪表用户
【发表日期】
:
1994年3期
【关键词】
:
压力传感器
变送器
固态膜
应变式
传感器应用
敏感元件
温度补偿
工艺研究所
仪器仪表
硅膜
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全固态通用型压力传感器、变送器沈阳仪器仪表工艺研究所庞世信,刘沁,吕忠刚扩散硅压力传感器与应变式等其它类型压力传感器相比具有很多优点,多年来一直是人们关注的重点。国外目前已形成了系列化和通用化的产品,国内近些年来在扩散硅压力传感器开发和应用上也取得了...
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