【摘 要】
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目的 研究微型管道的流量测量技术 .方法 采用热膜技术 ,在石英玻璃棒上镀一层铂电阻膜 ,利用激光将铂膜蚀刻成特定的形状 ,形成 4个独立的铂电阻 ,并构成一基本的电桥 ,电
【机 构】
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华北工学院电子工程系,华北工学院化学工程系!山西太原030051,华北工学院电子工程系
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目的 研究微型管道的流量测量技术 .方法 采用热膜技术 ,在石英玻璃棒上镀一层铂电阻膜 ,利用激光将铂膜蚀刻成特定的形状 ,形成 4个独立的铂电阻 ,并构成一基本的电桥 ,电桥通以一定的电流后产生热量 ,由于液体流动的作用会使 4个铂电阻间产生一定的温差 ,从而导致电桥失衡 ,产生一定的输出电势 .结果 研制出的流量传感器的各项技术指标满足设计要求 .结论 微型流量传感器与传统的传感器相比 ,在性能上有了较大的提高 ,并且具有对管道中液体压力损失小的特点
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