【摘 要】
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本文提出了一种测定硅中氧和碳含量的新方法,即厚度失配的样品参比法。我们引入了有效晶格吸收系数αL*,导出了采用基线法计算αL*和杂质吸收系数αi的统一公式。我们得到110
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所
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本文提出了一种测定硅中氧和碳含量的新方法,即厚度失配的样品参比法。我们引入了有效晶格吸收系数αL*,导出了采用基线法计算αL*和杂质吸收系数αi的统一公式。我们得到1106cm-1和605cm-1处的αL*的值分别为0.55cm-1和5.6cm-1。将本方法测得的氧碳含量同标准的匹配样品参比法结果比较,误差通常小于10％。最后,对本方法的误差来源进行了讨论。
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