【摘 要】
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本文分析了微型齿轮测量技术的难点，介绍了所研制的微型齿轮测量仪的测量原理、切向对正技术、阶段误差补偿原理、微型测头及小测力传感器等，并介绍了所研制的测量仪器的组成及
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本文分析了微型齿轮测量技术的难点，介绍了所研制的微型齿轮测量仪的测量原理、切向对正技术、阶段误差补偿原理、微型测头及小测力传感器等，并介绍了所研制的测量仪器的组成及实际测量结果。
This paper analyzes the difficulty of the micro-gear measurement technology, introduces the measuring principle of the micro-gear measuring instrument, the tangential alignment technology, the principle of phase error compensation, the micro-probe and the small force sensor, and introduces the developed The composition of measuring instruments and the actual measurement results.
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