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介绍一种半导体双轴力传感器的结构设计与工作原理，并利用ANSYS软件进行了仿真模拟。通过分析，确定了应变计的粘贴部位和应力分布。传感器试验结果表明：该传感器灵敏度优于0．05V／N，精度达到0．5％FS，零点漂移小于1％FS／h，热零点漂移小于0．5％FS／℃，满足使用要求。
半导体双轴力传感器的设计
【摘 要】
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介绍一种半导体双轴力传感器的结构设计与工作原理，并利用ANSYS软件进行了仿真模拟。通过分析，确定了应变计的粘贴部位和应力分布。传感器试验结果表明：该传感器灵敏度优于0．05V／N
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十九研究所
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2010年11期
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