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本文测量HFCVD生长的金刚石膜的红外透射率。结果表明,膜中的缺陷、杂质和非金属石相在透射谱中产生吸收带;膜表面的精糙度和组织形貌对透射率有较大的影响。形核表面面对红外光源时,由于减少表面散射而透射率较高;定向或高取向膜的透射率高于混杂取向膜的透射率,表明晶格取向和晶界分布影响膜的透射性能。