【摘 要】
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Separation technology is an indispensable step in the preparation of freestanding GaN substrate. In this paper, a largearea freestanding GaN layer was separated
【机 构】
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School of Optoelectronic Science and Engineering,Key Laboratory of Advanced Optical Manufacturing Te
【基金项目】
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supported by the National Key R&D Program of China (Grant Nos. 2017YFB0404100 and 2017YFB0403000),the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 61704187),the Key Research Program of the
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Separation technology is an indispensable step in the preparation of freestanding GaN substrate. In this paper, a largearea freestanding GaN layer was separated from the substrate by an electrochemical liftoff process on a sandwich structure composed of a
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