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自Mandelbrot的分形几何学问世以来,分形理论的应用日趋广泛。在薄膜生长方面亦是如此。真空蒸镀薄膜的生长遵循着一定的规律。基本上是:(1)成核在此期间形成小的晶核,它们按统计规律分布(有一些例外)在基片表面上;(2)晶核生长并形成较大的岛这些岛通常具有小晶体(微晶)的形状;(3)岛(微晶)和岛(微晶)之间聚集并形成含有空沟道的许多连接着的网络;(4)沟道被填充,形成连续的薄膜。