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本文提出和设计的阵列式电极电容传感器，是用于多相界面测量的一种新型传感器。作者利用有限元方法对其结构参数进行计算机仿真和优化设计，实验结果与理论分析吻合。
阵列式电极电容传感器的优化设计
【摘 要】
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本文提出和设计的阵列式电极电容传感器，是用于多相界面测量的一种新型传感器。作者利用有限元方法对其结构参数进行计算机仿真和优化设计，实验结果与理论分析吻合。
【机 构】
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清华大学汽车系,天津大学自动化系
【出 处】
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电子测量与仪器学报
【发表日期】
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1997年01期
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