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高亮度发光二极管多层结构外延片电化学C-V测试分析
高亮度发光二极管多层结构外延片电化学C-V测试分析
来源 :量子电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuweieasy
【摘 要】
:
本文介绍了利用ECV的方法测试分析双异质结多层结构外延片方法,在测试厚度、掺杂浓度、导电类型等材料的结构参数过程中,解决了外延片参数不稳定时的测试方法.
【作 者】
:
孙慧卿
范广涵
刘颂豪
【机 构】
:
华南师范大学光电子材料技术研究所
【出 处】
:
量子电子学报
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
光电子学
ECV
肖特基结
微分电容
电解液
optoelectronics
ECV
Schottky junction
differential cap
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本文介绍了利用ECV的方法测试分析双异质结多层结构外延片方法,在测试厚度、掺杂浓度、导电类型等材料的结构参数过程中,解决了外延片参数不稳定时的测试方法.
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