【摘 要】
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二维过渡金属硫族化合物（transition metal dichalcogenides， TMDs）是继石墨烯之后新型的二维材料，由于其自身的独特物理化学性质在半导体、光电材料、能源储存和催化制氢等方面备受瞩目。化学气相沉积法（chemical vapor deposition，CVD）是目前适合实现大规模制备二维材料的工艺之一，制备过程中参数的高度可控性使其具有很大优势。本文综述了近期通过CV
【基金项目】
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中科院先导项目（B）子课题（XDB44000000-6）；
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二维过渡金属硫族化合物（transition metal dichalcogenides， TMDs）是继石墨烯之后新型的二维材料，由于其自身的独特物理化学性质在半导体、光电材料、能源储存和催化制氢等方面备受瞩目。化学气相沉积法（chemical vapor deposition，CVD）是目前适合实现大规模制备二维材料的工艺之一，制备过程中参数的高度可控性使其具有很大优势。本文综述了近期通过CVD方法制备TMDs的研究进展，探讨了在CVD制备工艺中各种参数对产物生长和最终形貌的影响，包括前驱体、温度、衬底、辅助剂、压力和载气流量等。列举了一些改进的CVD制备工艺，并对其特点进行了总结。最后讨论了目前CVD制备TMDs所面临的挑战并对其发展前景进行展望。
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