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目的:应用三种探测器测量外置微型多叶准直器的射野相对输出因子(Relative Output Factor,ROF),并与蒙特卡罗(Monte Carlo,MC)方法的计算结果进行比较,对结果予以分析评估.方法:在6MV、15MV X线条件下,采用cc01、cc13、SFD三种探测器在IBA第二代蓝水箱中测量医科达APEX外置微型多叶准直器0.49 cm×0.49 cm～11.3 cm×11.3 cm照射野的ROF值;采用商业化的蒙特卡罗XVMC (X-Ray Voxel Monte Carlo,XVMC)源程序计算上述几何条件下的ROF,并与测量值进行比较.结果:对于cc01探测器,0.49 cm×0.49 cm照射野条件下,ROF测量值与MC计算值相对偏差较大,射线能量6MV时为21.11％,射线能量15MV时为11.34％.对于cc13探测器,照射野面积为0.49 cm×0.49em、0.98 cm×0.98 cm时,测量值与MC计算值偏差很大,射线能量6 MV时分别达到53.17％和15.03％,射线能量15MV时分别达到49.66％和15.85％.对于SFD探测器,由于其内径仅为0.6 mm,各个射野面积条件下测量结果基本不受空腔尺寸的影响,各个射野面积条件下其测量值与MC计算值吻合均较好.结论:测量外置微型多叶准直器小照射野ROF值时,由于缺侧向电子平衡和边缘剂量梯度多大,需要谨慎选择探测器.本研究证实,不同的探测器对ROF值的准确性存在较大的影响.选择灵敏区体积极小的半导体探测器并注意测量的几何条件,可以准确地测量小照射野的ROF值.