论文部分内容阅读
研究了如何应用ＳＵＰＲＥＭ软件程序，对液态源磷扩散工艺条件及扩散结果进行ＣＡＤ模拟分析。文中重点研究了扩散系数的修正值Ｂｅ，硅片表面汽相磷浓度ｎ＊的计算，并应用计算出的Ｂｅ、ｎ＊值分析模拟了磷扩散后的结果。它表明与实验结果相一致，且重复性好。
液态源磷扩散最佳工艺条件CAD模拟分析
【摘 要】
：
研究了如何应用ＳＵＰＲＥＭ软件程序，对液态源磷扩散工艺条件及扩散结果进行ＣＡＤ模拟分析。文中重点研究了扩散系数的修正值Ｂｅ，硅片表面汽相磷浓度ｎ＊的计算，并应用计算出的Ｂｅ、ｎ＊值分析模拟了磷扩散后的结果。它表明与实验结果相一致，且重复性好。
【机 构】
：
陕西机械学院
【出 处】
：
电力电子技术
【发表日期】
：
0年DLDZ403.015期
其他文献
当前贫困大学生的数量不断增长,贫困生的经济、心理'双贫困'现象值得教育者关注.在经济扶贫各项措施深入实施的同时,应加强'心理扶贫'工作的力度.要扶贫先扶
在基层统战工作中,建立良好和谐的人际关系,会在工作中取得较好的效果。正确处理好与领导的人际关系,可以创造有利于统战工作的良好环境;正确处理好与统战对象的人际关系,可
公钥基础设施PKI作为一种标准的公钥密码的密钥管理平台能够提供一系列支持公钥密码的应用（加密、解密、签名与认证）的基础服务。将PKI技术引入校园网络,在加强校园网络安全的
由于数据融合技术可以有效的减小数据的传输量，减少和避免碰撞，因此在数据处理中得到广泛应用。但数据融合技术在减少开销的同时也引起了一系列的安全隐患，因此安全数据融合技术
通过将半固态浆料浇注到不同冷却速率的模具中,研究冷却速率对半固态浆料凝固组织的影响。结果表明,铸件的凝固组织受冷却速率的影响较大,随着冷却速率的降低,晶粒的形状逐渐
进一步启动民营经济投资,并形成持续增长的机制,是我国当前经济增长的一个关键问题。从长期看进一步启动民营投资,也是发展市场经济和国家建设的需要。为此,必须有针对性的提
社会主义初级阶段是一个长期、全面的社会转型期。在这一时期,随着改革的深入和全面推进,将触及不同社会群体的各种利益,从而将引发各种矛盾,其中主要是人民内部矛盾,因此正
"文档一体化"主要是根据利用者的实际需求形成各种各样的虚拟案卷,这种虚拟案卷是一级文件信息集合,而非传统档案管理模式下的"案卷".档案管理从传统模式下二级管理(案卷--文