切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
SU-8光刻胶加工工艺及应力梯度研究
SU-8光刻胶加工工艺及应力梯度研究
来源 :科技创新与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:skoda0412
【摘 要】
:
文章采用牺牲层刻蚀技术加工SU-8胶MEMS微结构,BP212正性光刻胶作为牺牲层,SU-8胶作为结构层。制造出的SU-8胶微结构完整,表面无裂纹,牺牲层释放干净。通过测量释放后的SU-8
【作 者】
:
韦剑
何万益
陆颖颖
【机 构】
:
南京邮电大学通达学院
【出 处】
:
科技创新与应用
【发表日期】
:
2017年33期
【关键词】
:
SU-8胶
牺牲层刻蚀
应力梯度
后烘温度
SU-8
sacrifice layer technology
stress gradient
PEB
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
文章采用牺牲层刻蚀技术加工SU-8胶MEMS微结构,BP212正性光刻胶作为牺牲层,SU-8胶作为结构层。制造出的SU-8胶微结构完整,表面无裂纹,牺牲层释放干净。通过测量释放后的SU-8胶悬臂梁曲率半径,计算其应力梯度,研究了后烘温度对SU-8胶薄膜应力梯度的影响。
其他文献
黄河下游游荡河段河床演变对河道整治的响应
为预测黄河下游游荡性河道大规模整治后对河床演变的作用,基于河流动力学理论,通过物理模型试验的方法,以黄河下游游荡性河道典型河段为对象,研究了河床过程对河道整治的复杂
期刊
河道整治
河床过程
游荡性河道
黄河下游
泄洪输沙
river regulation
channel processes
wandering-braided
肇兰新河水环境污染分析与探讨
文章介绍了肇兰新河工程概况,并对肇兰新河水质进行了分析,提出了改善肇兰新河水质的建议。
期刊
肇兰新河
水环境
污染
乌鲁木齐河流域不同水体中的氧稳定同位素
采用乌鲁木齐河流域历年采集的降水、表层粒雪、冰川融水和河川径流等水样资料,分析了取样期间不同水样中氧稳定同位素的变化,揭示了降水中氧稳定同位素变化存在着明显的温度
期刊
乌鲁木齐河
氧
稳定同位素
温度效应
高度效应
水体
Urumqi River
stable oxygen isotope
temperature effec
河流污水非饱和入渗对沿岸地下水质的影响
在分析河流污水非饱和入渗过程和输移机理的基础上,建立了河流污水非饱和入渗对沿岸土壤及地下水质影响的预测预报模型. 该模型将水力传导率分离为饱和水力传导率项和相对水
期刊
地下水质
河流污水
非饱和入渗
数学模型
水环境
polluted river
offshore
unsaturated filtration
mathema
核电厂水泥固化线废滤芯固化装置移动灌浆站的调试
文章主要介绍海南昌江核电厂改造后的TES水泥固化线废滤芯固化简易工艺,移动灌浆站设备组成,移动灌浆站水泥、减水剂、水供给系统调试过程和整体测试。
期刊
水泥固化线
滤芯固化
移动灌浆站
调试
全车总线系统ABS故障的案例分析
文章针对在欧科佳全车总线系统下ABS系统故障指示灯常亮这一现象进行了全面的分析,查找了相关原因,并给出了解决方案。
期刊
全车总线系统
ABS故障灯
缓速器控制继电器
探究水泵的汽蚀现象及防治措施
针对水泵的汽蚀问题,作者在文章中分析了水泵出现汽蚀现象的原因,详细阐述水泵汽蚀的类型以及水泵汽蚀现象,并据此提出怎样避免与减轻汽蚀的几点建议,以有效延长水泵的使用寿
期刊
水泵汽蚀
汽蚀类型
防治措施
环状河网水质模型在水污染控制规划中的应用
结合一维圣维南方程及CSTR水质概念模型的机理,开发了平原环状河网非稳态水质模型,并用于温州市温瑞塘河水污染控制规划的编制中.模型由水文子模型和水质子模型两部分构成,描
期刊
环状河网
水质模型
水环境容量
引水冲污
曝气复氧
水污染
looping river network
water quality model
water en
复杂河网水沙数学模型研究
根据节点水沙平衡和能量衔接条件,在单一河道水沙数学模型的基础上,建立了可以适用于一般河网体系水沙数值计算的数学模型,并采用荆江-洞庭湖的相关资料进行了验证.结果表明,
期刊
河网
水沙平衡
数学模型
荆江一洞庭湖
节点
非恒定
river system
water-sediment numerical model
the Jin
模型门在民用飞机应急出口检查中的应用研究
如何快速检查民用飞机应急出口尺寸是否满足适航要求非常重要,传统的通过测量换算的方法存在一定误差,得不到局方代表的认可。文章研究了一种如何利用模型门验证出口尺寸是否
期刊
模型门
应急出口
适航
与本文相关的学术论文