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本文提出了一种判别(001)晶片[110]和[ ]方向的简便方法。将去掉机械划痕的 InP 衬底放入浓 HCl,发现腐蚀出的条形沟方向是和片子的[110]方向一致。并对腐蚀沟的形成做了初步分析。
（001）InP晶片[110]及[110]取向的最新判别法
【摘 要】
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本文提出了一种判别(001)晶片[110]和[ ]方向的简便方法。将去掉机械划痕的 InP 衬底放入浓 HCl,发现腐蚀出的条形沟方向是和片子的[110]方向一致。并对腐蚀沟的形成做了初步
【机 构】
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吉林大学电子科学系,吉林大学电子科学系
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1989年4期
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