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介绍了一种用于晶硅的智能化加工单元,包括沿着轨道滑动的机械手,以及轨道两侧截断机、开方机、磨抛一体机和置物台,通过数据传输线与控制终端相连接,机械手夹持晶硅依次至截断机进行截断操作、开方机进行去边皮开方、磨抛一体机进行磨削抛光、完成后放置于置物台上,实现晶硅的全自动化转运加工。另对该方案关键技术和工艺路线做了重点说明,以实现该生产单元的自动化程度高、产能稳定、可靠性更好的效果。