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期刊论文
制作连续沟形微光学元件的新方法
制作连续沟形微光学元件的新方法
来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nicolewyy
【摘 要】
:
提出一种制作连续沟形微光学元件的新方法,用移动物面上二元图案的方法来获得连续灰度的记录,再用卤化银明胶处理技术,把灰度银像转化成明胶硬度潜像,最后采用酶蚀显影工艺把潜像
【作 者】
:
唐继跃
陈波
【机 构】
:
激光师范大学信息光学研究所,四川大学信息光学研究所
【出 处】
:
光学学报
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
微光学元件
光刻术
卤化银明胶
光学元件
MOE
photolithography
silve halide sesitived gelatin
protein
【基金项目】
:
国家自然科学基金,浙江省教委科研基金
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提出一种制作连续沟形微光学元件的新方法,用移动物面上二元图案的方法来获得连续灰度的记录,再用卤化银明胶处理技术,把灰度银像转化成明胶硬度潜像,最后采用酶蚀显影工艺把潜像显现为连续沟形的浮雕结构,文中给出了原理分析和实验验证,初步结果令人满意。
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