论文部分内容阅读
给出了一种新型梳状微机械谐振式磁场传感器的设计。采用静电激励和静电检测，通过罗伦兹力的反馈将磁场的大小转变为频率输出。对结构模型进行简化，推导出了本征频率的计算公式并进行了ANSYS模拟。通过尺寸的设计，该传感器的灵敏度可以达到258kHz/T。
梳状谐振式磁场传感器设计
【摘 要】
：
给出了一种新型梳状微机械谐振式磁场传感器的设计。采用静电激励和静电检测，通过罗伦兹力的反馈将磁场的大小转变为频率输出。对结构模型进行简化，推导出了本征频率的计算公式
【机 构】
：
东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
：
2007年7期
其他文献
1月15日,第四届中国汽车发动机技术大会在湖南湘潭举行,BMTS Technology(以下简称BMTS)荣获“中国心”2018年度十佳发动机金牌供应商,在能源消耗和环保的巨大压力下,国家出台
本文给出了经济互助委员会国家试验室的环境热释光剂量计比对结果，叙述了比对的方法和在切尔诺贝利事故之后放射性污染的条件下现场剂量测定的结果，象通常那样，如果只参加比对者
介绍了传统生物工艺可以通过向生化系统中通过投加填料来增加生物载体提高污泥浓度对系统进行强化以提高污水处理的效果。根据目前国内外的研究状况,分别阐述了生物活性炭-活
据外媒报道,加拿大自由党政府承诺未来3年将投入3亿加拿大元(约合2.25亿美元)用于向电动车或氢燃料电动车支付高达每辆5000加拿大元的购买补贴。领取补贴时也伴随着限制:合规
大连是我国的老工业基地之一，拥有大连造船厂、大连重型机器厂、瓦房店轴承厂、大连化学工业公司等几十家闻名全国的大型企业。在计划经济体制下，这些企业由国家一个“统”字包
近年来，辐射诱发的二重癌逐步受到人们重视。本文主要从辐射诱发二重癌的类型、潜伏期、影响辐射诱发二重癌的因素、家族性癌症征候群对辐射致癌的影响以及辐射诱发二重癌机理等几个方面进行了讨论。
韩国现代汽车集团在7月3日宣布其已经开发出一种新型发动机技术,可以大幅提升汽车性能和燃油效率,并减少尾气排放。现代汽车在一份声明中表示,集团计划首先在其1.6 L涡轮增压
核素心室造影根据心室相对容量随时间变化的规律,较客观地分析了左室舒张功能。对临床上冠心病、肥厚性心肌病、高血压性心脏病的早期诊断,病情判断,药物作用的评价有较大意
<正> 对放射性工作人员而言,β、γ及热粒子产生的辐射对人体是有害的,因此需一台便携式监测器.一、硅探测器的选用在皮肤剂量监测中,硅探测器比现在用于个人剂量监测的TLD具