【摘 要】
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这个装置是一种能够在基板上顺次地产生多层薄膜,而又能大量生产金属薄膜的制造装置。这种装置的结构是在真空室中把几个薄膜源金属分别固定在旋转多面体(5a)的各面(2)、(3)
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这个装置是一种能够在基板上顺次地产生多层薄膜,而又能大量生产金属薄膜的制造装置。这种装置的结构是在真空室中把几个薄膜源金属分别固定在旋转多面体(5a)的各面(2)、(3),(4)上作为阴极,把这个旋转多面体阴极(5a)加以旋转,使各阴极(2)、(3)、(4)顺次与阳极相对,在
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