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通过改变ZnA10靶的氧气量以及溅射功率，测量Low—E膜层面电阻的变化，分析掺铝氧化锌薄膜对低辐射镀膜玻璃面电阻的影响。
掺铝氧化锌的工艺参数对Low—E面电阻的影响
【摘 要】
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通过改变ZnA10靶的氧气量以及溅射功率，测量Low—E膜层面电阻的变化，分析掺铝氧化锌薄膜对低辐射镀膜玻璃面电阻的影响。
【机 构】
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上海耀华皮尔金顿玻璃股份有限公司
【出 处】
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上海建材
【发表日期】
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2013年6期
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