【摘 要】
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优化原位腔清洗工艺可延长清洗之间Al刻蚀腔加工时间(MTBC),不损伤清洗腔内部,同时也保持了合理的产额。Cl/O2能非常有效地去除碳基聚合物,而BCl3/Cl最有利于去除Al副产品。
【机 构】
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Applied Materials China,Applied Materials USA,
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优化原位腔清洗工艺可延长清洗之间Al刻蚀腔加工时间(MTBC),不损伤清洗腔内部,同时也保持了合理的产额。Cl/O2能非常有效地去除碳基聚合物,而BCl3/Cl最有利于去除Al副产品。通过提高压力得到了顶盖/侧壁清洗均匀性方面最好的改进。实行最佳清洗工艺后,MTBC提高了4倍。
Optimizing in-situ chamber cleaning extends the MTBC between cleaning cycles without damaging the inside of the chamber, while maintaining a reasonable yield. Cl / O2 removes carbon-based polymers very efficiently, whereas BCl3 / Cl is most advantageous for the removal of Al by-products. The best improvement in roof / sidewall wash uniformity is achieved by increasing pressure. After the best cleaning process, MTBC increased by 4 times.
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