【摘 要】
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聚酰亚胺树脂（PI）因其良好的平面化特性、在氧气中易灰化、不完全固化易溶解于碱性显影液、在CHF3等离子气氛中有较强的抗蚀性等性质，在电容RF MEMS开关的制作过程中，应用它作为
【机 构】
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福州大学电子系,厦门大学萨本栋微机电研究中心
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聚酰亚胺树脂（PI）因其良好的平面化特性、在氧气中易灰化、不完全固化易溶解于碱性显影液、在CHF3等离子气氛中有较强的抗蚀性等性质，在电容RF MEMS开关的制作过程中，应用它作为刻蚀保护层和牺牲层，不但可以使工艺过程得到简化，而且可以对开关的介质层尺寸、牺牲层厚度等图形参数起到很好的控制作用．
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