【摘 要】
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分析了CaTiO3掺杂量对SrTiO3压敏电阻器显微结构与电性能的影响规律。结果表明，随着CaTiO3掺杂量的增加，V10mA逐渐变小，α先增大后变小，tanδ先减小后增大。当x（CaTiO3）为5％时，α最高
【机 构】
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华为三康技术有限公司深圳研究所,电子科技大学微电子与固体电子学院
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分析了CaTiO3掺杂量对SrTiO3压敏电阻器显微结构与电性能的影响规律。结果表明，随着CaTiO3掺杂量的增加，V10mA逐渐变小，α先增大后变小，tanδ先减小后增大。当x（CaTiO3）为5％时，α最高。同时优化了受主掺杂剂Na2CO3、Li2CO3掺杂量和还原烧结温度及保温时间。在基料（sr095Cao_05）Ti03中掺入施主掺杂剂0.3％Nb2O5＋0．2％La2O3和受主掺杂剂0．4％Na2CO3＋0．2％Li2CO3（以上均为摩尔分数），在1400℃的还原温度下烧结并保温2h，可以获得V
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