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射频MEMS技术及其应用
射频MEMS技术及其应用
来源 :电子科学技术评论 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wychenjian
【摘 要】
:
本文从射频微波观点回顾了微电子机械系统(MEMS)技术进展,重点讨论在射频领域,特别是在雷达T/R组件上有望广泛应用的器件、组件以及系统。意在唤起重视MEMS技术在雷达上的推
【作 者】
:
张玮
崔鸿波
刘刚
【机 构】
:
南京电子技术研究所微电路技术应用研究部
【出 处】
:
电子科学技术评论
【发表日期】
:
2005年03期
【关键词】
:
射频RF
MEMS
T/R组件
移相器
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本文从射频微波观点回顾了微电子机械系统(MEMS)技术进展,重点讨论在射频领域,特别是在雷达T/R组件上有望广泛应用的器件、组件以及系统。意在唤起重视MEMS技术在雷达上的推广应用,有益于雷达事业的蓬勃发展。
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