【摘 要】
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蓝宝石（α-A1203）是一种机光电性能优良的功能晶体材料，在半导体和光电子等行业得到了广泛的应用。行星式双面研磨是蓝宝石基片平面加工的重要手段，加工过程中磨粒轨迹的均匀性对
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
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蓝宝石（α-A1203）是一种机光电性能优良的功能晶体材料，在半导体和光电子等行业得到了广泛的应用。行星式双面研磨是蓝宝石基片平面加工的重要手段，加工过程中磨粒轨迹的均匀性对工件的加工精度和表面质量有着重要的影响。通过运动学分析建立了双面研磨磨粒轨迹方程和速度方程，提出一种基于Matlab离散统计的磨粒轨迹均匀性定量评价方法，并求取设定参数下双面研磨轨迹分布均匀性的方差值。
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