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利用阻抗分析仪测量了金属-介质薄膜一半导体结构的C-V特性曲线．由积累区电容得到所制备HfO2薄膜的电容为1．24nF，计算得其相对电容率为12．49．
薄膜材料电容率的测量
【摘 要】
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利用阻抗分析仪测量了金属-介质薄膜一半导体结构的C-V特性曲线．由积累区电容得到所制备HfO2薄膜的电容为1．24nF，计算得其相对电容率为12．49．
【机 构】
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北京科技大学应用科学学院物理系
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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2009年2期
【基金项目】
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中国高等教育学会“十一五”教育科学研究规划项目（No.06AIJ0010004）,北京市教育委员会共建项目
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