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介绍了采用ＰＳＤ传感器设计的激光直线度测量的工作原理，以及激光器，光靶和计算机系统的设计。
PSD激光直线度测量仪
【摘 要】
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介绍了采用ＰＳＤ传感器设计的激光直线度测量的工作原理，以及激光器，光靶和计算机系统的设计。
【机 构】
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哈尔滨理工大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1997年2期
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