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运用射频磁控溅射技术,改变氩氧流量比在玻璃衬底上生长ZnO:Al(ZAO)样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计对薄膜微结构、厚度及其光学性能表征,结果发现:维持氩流量不变(9sccm),随着氧流量增加(1—9seem),样品XRD峰强减小,半高宽增大,晶粒尺寸减小,薄膜结晶性能变差;而维持氧流量不变(9seem),氩流量减小(9~3sccm),样品XRD峰强增大,半高宽减小,晶粒尺寸变大,结晶性能变好。紫外可见光光谱在400—900nm波长区间平均透射率差异大(67.9%-91.1%);在420—900