论文部分内容阅读
海德汉公司是一家拥有一百多年历史的专门开发和生产测量系统以及数控系统的跨国公司。海德汉一个多世纪以来,扎根光刻制造领域,并以生产高精度、高质量的产品而著称世界,光栅尺的分辨率高达1纳米:精度高达4-0.1微米/每米;角度编码器精度高达±0.2角秒;绝对式角度编码器的位数可达到27位。iTNC 530具备多样功能一它以最佳的方式适应您的加工要求。