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许多大功率激光系统,需要顶平,边陡,旁瓣小和光效率高的均匀焦斑。用衍射光学元件(DOE)实现这样的均匀照明有许多优点,例如纯相位调制光效率高,相位设计灵活性大等等。相位设计,采用一种以登山和模拟算法为基础的混合算法,因为登山算法收敛大,模拟算法全局优化有潜能。用旋转空心掩模和离子蚀刻,在K9玻璃基片上加工了直径100mm的连续相位DOE。DOE干涉图样呈现相位分布平滑。焦斑的强度分布用一般CCD测量,并用一系列消光器增大测量动态范围。数据处理后的结果表明,焦斑均匀,其主瓣有一定的均匀度,边陡,旁瓣小,零级