【摘 要】
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涡轮分子泵是一种机械超高真空泵,能够获得清洁无油的超高真空。本文对涡轮分子泵的用途、工作原理、结构选择、设计计算等作一简单介绍,并在研制调试过程中所遇到的问题作一
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涡轮分子泵是一种机械超高真空泵,能够获得清洁无油的超高真空。本文对涡轮分子泵的用途、工作原理、结构选择、设计计算等作一简单介绍,并在研制调试过程中所遇到的问题作一些讨论,最后介绍泵的性能及与国内外同类型产品的比较。 一、用途 涡轮分子泵由于它是靠机械作用抽气,
Turbomolecular pump is a mechanical ultra-high vacuum pump, can get a clean, oil-free ultra-high vacuum. In this paper, we briefly introduce the application, working principle, structure selection, design and calculation of turbo molecular pump, and discuss some problems we encountered in the process of development and adjustment. Finally, we introduce the performance of the pump and its application to the same kind of products at home and abroad Compare First, the purpose Turbo molecular pump because it is pumping by mechanical action,
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