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对CdS进行CdCl2后处理是制备高效率CdS／CdTe多晶太阳能薄膜电池的的关键步骤。研究了CdS薄膜的CdCl2气相热处理，用XRD、UV／Vis表征热处理前后薄膜的结构、晶粒尺寸及禁带宽度的变化。对比研究了有无CdCl2处理的CdS薄膜的结构差异。首次发现在410℃，无CdCl2热处理的CdS膜出现金属镉。随退火温度的增加和退火时间的延长，薄膜的立方结构被破坏。退火温度高于410℃，CdS的（111）衍射峰强度急剧减弱，470℃退火1h几首完全消失。