【摘 要】
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压电喷射阀因其高频、胶滴均匀以及可实现纳升量级的微量胶滴喷射，而被广泛应用于微电子封装。建立了压电喷射阀的机械系统动力学自动分析（ADAMS）仿真模型，基于模型定义流体动力学模型中喷针的运动，实验验证了仿真模型的合理性。通过实验和仿真，研究了喷射阀的动态性能和胶滴喷射的动态过程，分析了胶液填充速度对胶滴体积的影响规律。实验探究了不同行程下喷射阀的喷射性能，胶滴体积的一致性误差不超过±6%,绝对误差
【基金项目】
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国家自然科学基金青年科学基金资助项目（51705538）；
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压电喷射阀因其高频、胶滴均匀以及可实现纳升量级的微量胶滴喷射，而被广泛应用于微电子封装。建立了压电喷射阀的机械系统动力学自动分析（ADAMS）仿真模型，基于模型定义流体动力学模型中喷针的运动，实验验证了仿真模型的合理性。通过实验和仿真，研究了喷射阀的动态性能和胶滴喷射的动态过程，分析了胶液填充速度对胶滴体积的影响规律。实验探究了不同行程下喷射阀的喷射性能，胶滴体积的一致性误差不超过±6%,绝对误差随行程增大而增大，当行程为0.06 mm时，相对误差不超过±3%。
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